纯水制备工艺总结

  超纯水的需求随着半导体工业的发展，对超纯水质量要求提高，从而大大的推动了纯水技术的发展，超纯水机得到了广泛的应用，微滤，超滤，电渗析和反渗透技术先进的水处理技术得到了飞速的发展，膜法制备纯水取代了传统的离子交换器系统，解决了TOC问题，满足了电子行业对纯水质量的要求。

一、精滤纯水处理

  用特殊材料制成的滤膜，过滤精度较高。常见的为微滤膜和滤芯过滤。

二、粗滤纯水处理

  指机械过滤，去除水中的悬浮物，胶体、浊度、色度、异味等。主要过滤方式有澄清池、快滤池、砂滤池、砂滤器、多介质过滤器、活性碳过滤器、盘式过滤器、高效纤维过滤器等。

三、超纯水处理

  是一种膜过滤，去除大分子和胶体、细菌等。过滤精度高，常见的是超滤膜。超滤膜不能去除水中的离子，即它没有除盐功能。用于反渗透预处理或反渗透后的精处理，也可以单独使用。超滤是一种流体切向流动和压力驱动的过滤过程，并按分子量大小来分离颗粒。超滤膜的孔径大约在0.002-0.1微米范围内。溶解物质和比膜孔径小的物质能作为透过液透过滤膜，不能透过滤膜的物质被浓缩于排放液中。因此产水中含有水、溶解固体及小分子量物质，而胶体、悬浮颗粒、高分子量有机物、细菌、病毒和原生动物将被过滤去除。

四、反渗透纯水处理

  反渗透简称RO，是六十年代发展起来的一种膜分离技术，其原理是原水在高压力的作用下通过反渗透膜，水中的溶剂由高浓度向低浓度扩散从而达到分离、提纯、浓缩的目的，由于它同自然界的渗透方向相反，因此称它为反渗透。反渗透可以去除水中的细菌、病毒、胶体、有机物和98％以上的溶解性盐类。该方法具有运行费用低，操作简单，自动化程度高，出水水质稳定等特点。与其它传统的水处理方法相比具有明显的优势，广泛应用于超纯水机水处理技术上。

五、EDI纯水处理

  将电渗析和离子交换相结合的除盐新工艺，该设备取电渗析和混床离子交换两者之长，弥补对方之短，即可利用离子交换做深度处理，且不用药剂进行再生，利用电离产生的H+和OH-，达到再生树脂的目的。EDI对进水要求较高，必须是反渗透产水或相当于反渗透产水的水质。它具有如下特点：

 1、可连续生产符合用户要求的合格超纯水，产水稳定；

 2、无需化学药品进行再生，没有化学物排放，属绿色环保产品；

 3、结构紧凑，占地面积小，制水成本低；

 4、出厂前完成装置调试，现场安装调试简单；

 5、运行操作简单，劳动强度极低，培训容易。

 六、离子交换纯水处理

  水中各种无机盐类电离生成阳、阴离子，经过氢型离子交换剂层时，水中的阳离子被氢离子所取代，即是阳床的除盐原理。

  水中各种无机盐类电离生成阳、阴离子，经过OH-型离子交换剂层时，水中的阴离子被OH-离子所取代，即是阴床的除盐原理。

  混床是阳、阴离子交换树脂按一定比例混合装填于同一交换柱内的离子交换装置。均匀混合的树脂层，阳树脂与阴树脂紧密交错排列，每一对阳树脂与阴树脂颗粒类似于一组复床，故可以把混床视作无数组复床串联运行。